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漢微科（3658）於今（16）日上午7時30分舉行重大訊息記者會，公開宣布漢微科與ASML簽署股份轉換契約，ASML將收購漢微科全部流通在外之普通股股份，每股收購價為1410元，總交易金額約新台幣1000億元（約27.5億歐元），而漢微科也將成為ASML（或其指定之子公司）100%持股之子公司。本次股份轉換案預計於今（2016）年第四季完成，而漢微科屆時也將下櫃。
漢微科表示，此次整併目的主要係考量長期發展方向，並為整合資源、提升營運規模，以提高公司競爭優勢，就預計產生之效益而言，預期藉由本次股份轉換案完成整併後，可使漢微科與ASML進一步整合，並加速開發半導體廠可使用在最先進製程之技術以提升其良率，使客戶取得致勝關鍵。
漢微科指出，旗下電子束量測技術可針對2D及3D圖案進行清楚的成像，ASML可藉此成像強化其設計及製程模擬模型，此項應用為運算微影之基石；且經過詳細運算後，該模型可引導光學及電子束量測機台到晶圓上最複雜、對良率控制最為關鍵的圖案，以最具成本效益方式支援ASML極紫外光微影系統平台效能的提升，而該平台也將用於2018年起量產的下一代半導體製程上。
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