ASML EUV訂價太高貴,台積電有新選擇?先進製程不一定會採用

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摘要

艾司摩爾(ASML)EUV設備一部要價3億8,000萬美元,訂價過高,現在替代選擇出現了?日本科學家已開發出簡化的EUV設備,成本也親民許多,若真的量產後,可能會影響整個半導體產業。

艾司摩爾(ASML)EUV的替代選擇出現了!根據外媒報導,日本科學家已開發出簡化的EUV設備,成本也親民許多,若投入量產,恐怕影響整個半導體產業。

台積電與ASML是全球半導體供應鏈最重要的2家公司,台積電在晶片製造占據C位,ASML則靠獨家技術打造出半導體先進製程關鍵機台,該公司生產的極紫外光(EUV)設備一部要價3億8,000萬美元,由於訂價過於高貴,台積電主管先前甚至透露A16先進製程節點不一定會採用。

不過,根據《Tom's Hardware》報導,沖繩科學技術研究院(OIST)Tsumoru Shintake教授已開發出簡化的EUV設備,成本相較ASML開發的EUV親民許多,若該設備投入量產,恐怕重塑半導體產業發展。

這款新系統的光學投影中僅使用2個鏡面,與傳統6鏡面配置大不相同。這種光學系統的挑戰在於,必須將這些鏡面言直線對齊排列,以確保系統維持良好的光學效能。

該報導指出,新光程允許超過10%初始EUV能量到達晶圓,而標準設定僅約1%,這項進步是一項重大突破。此外,簡約的設計提升了可靠性,並減少維護的複雜性。由於功耗較低,該設備不需要複雜且昂貴的冷卻系統。

新系統效能已透過光學模擬軟體進行嚴格驗證,證明其生產先進半導體的能力。此技術的潛力已促使OIST提出專利申請,表示已準備好進行商業部署。

本文獲「工商時報」授權轉載,原文:ASML EUV太高貴!台積電有新選擇 半導體業迎來巨變?

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